山東省首條12英寸集成電路用大硅片生產(chǎn)線通線
10月16日,山東有研艾斯12英寸集成電路用大硅片產(chǎn)業(yè)化項目在德州天衢新區(qū)實現(xiàn)通線,這是山東第一條12英寸集成電路用大硅片生產(chǎn)線,標(biāo)志著山東在完善集成電路產(chǎn)業(yè)鏈建設(shè)上邁出了關(guān)鍵一步。該項目全部達(dá)產(chǎn)后將形成120萬片/年的生產(chǎn)規(guī)模。
10月15日,記者在山東有研艾斯生產(chǎn)車間看到,單晶硅棒被切割成厚度僅一毫米直徑約305毫米(12英寸)的硅片,再經(jīng)過倒角、研磨等40-50道工序,最終硅片出廠時最高與最低的平整度誤差不能超過0.1微米。山東有研艾斯總經(jīng)理閆志瑞指著一片硅片向記者介紹,硅片即“晶圓”,相當(dāng)于芯片的“地基”。與芯片越小科技含量越高的制程工藝不同,硅片是越大則對材料和技術(shù)的要求越高。12英寸硅片的面積是8英寸的2.25倍,可使用率是8英寸的2.5倍左右,單片產(chǎn)出的芯片數(shù)量和經(jīng)濟(jì)效益明顯增加。
隨著集成電路制程和工藝的發(fā)展,硅片趨向大尺寸化和制程精細(xì)化,12英寸硅片為當(dāng)前及未來較長時間內(nèi)的主流產(chǎn)品。
2018年以來,中國有研科技集團(tuán)在山東德州投資近百億元,落地7個項目,已投產(chǎn)4個。2020年,8英寸集成電路用大硅片通線量產(chǎn),再到今天12英寸集成電路用大硅片產(chǎn)業(yè)項目通線,山東德州成為有研在全國投資布局規(guī)模最大、業(yè)務(wù)領(lǐng)域最廣的科技成果轉(zhuǎn)化基地。德州天衢新區(qū)依托中國有研“集成電路關(guān)鍵材料國家工程研究中心”,打造中國集成電路關(guān)鍵材料(德州)基地,將成為北方最大的集成電路用大硅片生產(chǎn)基地。
企業(yè)投資持續(xù)“加碼”,中國有研科技集團(tuán)有限公司黨委委員、副總經(jīng)理周旗鋼信心十足,“投資項目進(jìn)展順利、運(yùn)行正常,事實證明當(dāng)初選擇山東、選擇德州是正確的?!彼硎荆轮輰⒂醒凶鳛殒溨髌髽I(yè)重點培育,精心建設(shè)專業(yè)園區(qū),形成了較為完善的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)生態(tài),“有研也將充分發(fā)揮頭部效應(yīng),集聚更多上下游企業(yè)落戶德州?!?/p>
據(jù)悉,德州近五年來,半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)產(chǎn)值年均增長近20%。山東有研入選省級“雁陣形”產(chǎn)業(yè)集群領(lǐng)軍企業(yè)庫,天衢新區(qū)電子信息(集成電路)入選山東省戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)集群和特色產(chǎn)業(yè)集群,已成為全省半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的重要增長極,一批高端優(yōu)質(zhì)項目聚“鏈”成“群”,蓬勃發(fā)展。(賀瑩瑩 韓哲)
(責(zé)編:劉穎婕、邢曼華)
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